Pulidora final de obleas de 300mm

Productos semiconductores

La herramienta CMP FTB300FP fue desarrollada conjuntamente por JieXin y un equipo técnico japonés. Este equipo está diseñado para ofrecer un alto rendimiento y una excelente relación calidad-precio, a la vez que mejora el rendimiento de planarización para cumplir con los requisitos técnicos más exigentes (GBIR, SFQR).

Tamaño de la oblea

≤12 pulgadas
GBIR

<100 nm
Carga y descarga

Secado y mojado

Sustituto doméstico de alta gama por excelencia

Sustituto doméstico de alta gama basado en la fiabilidad y la estabilidad

Alta Productividad

Equipado con 8 cabezales de pulido y 3 estaciones de trabajo para una mayor productividad.
Integración Flexible del Proceso

El descargador robótico se puede combinar con el sistema de limpieza para el tratamiento de secado.
Bajo Costo Total

Los consumibles son fáciles de reemplazar, tienen una larga vida útil y, por lo tanto, reducen el tiempo de inactividad.

≤12 pulgadas

<100 nm

Secado y mojado