La FTB150MP es una herramienta CMP de 6 pulgadas diseñada para aplicaciones de laboratorio según las necesidades del cliente. Es compatible con diversos materiales y cuenta con unidades de pulido de alto rendimiento para lograr una planitud superficial de obleas excepcional. Gracias a su alta rentabilidad, es la solución ideal para procesos de laboratorio de alta precisión.
Tamaño de la oblea
≤6 pulgadas
Material de la oblea
Si, SiC, GaN, etc.
Exquisita y compacta con todas las funcionalidades
Dedicado a I+D y aplicaciones en campos de pequeño tamaño
Tamaño Compacto
Diseño de una sola placa y un solo cabezal altamente integrado.
Integración de Proceso Flexible
La estructura de alta rigidez permite aplicar mayor presión y puede estar equipada con acondicionador de almohadilla de diamante o de nylon.