Máquina de deposición química de vapor a baja presión (LPCVD) MM650

Productos fotovoltaicos

La máquina LPCVD, con un proceso maduro y estable, es una de las primeras máquinas para la producción en masa de células TOPcon.

Capacidad:

9400 unidades/hora a 182 x 182 celdas

Alto rendimiento promedio, buena uniformidad de película

Nuestro propio sistema de entrada de aire patentado mejora la uniformidad y controlabilidad del campo de flujo

Alto rendimiento

el flujo uniforme de aire conduce a una película uniforme y un alto rendimiento.
Larga vida útil del tubo de cuarzo:

6 meses de vida útil del tubo de cuarzo gracias al innovador diseño de fijación y al bajo consumo de aire.
Zona de temperatura estable:

la disposición razonable de los filamentos de calefacción contribuye a una buena consistencia y controlabilidad, resultando en zonas de temperatura estables y controlables.